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电容式加速度传感器

2021.08.31

电容式加速度传感器


加速度传感器是一种能够测量加速度力的设备,加速度力就是当物体在加速度过程中在物体上的力;比如地球引力、汽车加速时候的力、电梯上下的时候这些都是加速度力。

现代科技要求加速度传感器应用在很多领域比如:军工、空间系统、科学测量等领域需要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。

以传统加工方法制造的加速度传感器难以全面满足这些要求,于是应用新兴的微机械加工技术制作的微加速度传感器应运而生。

这种传感器体积小、重量轻、功耗小、启动快、成本低、可靠性高、易于实现数字化和智能化。由于微机械结构制作精准重复性好、易于集成化、适于大批量生产,它的性能价格比很高它将在加速度传感器市场中占主导地位。


加速度传感器按工作原理可分为几种类别:


电容式加速度传感器

电阻式加速度传感器

压电式加速度传感器

按照不同工作场景需求应用相对应的加速计。

电容式加速度传感器其结构形式一般也采用弹簧质量系统。当质量受加速度作用运动而改变质量块与固定电极之间的间隙进而使电容值变化。电容式加速度计与其它类型的加速度传感器相比具有灵敏度高、零频响应、环境适应性好等特点,尤其是受温度的影响比较小;但不足之处表现在信号的输入与输出为非线性,量程有限,受电缆的电容影响,以及电容传感器本身是高阻抗信号源,因此电容传感器的输出信号往往需通过后继电路给于改善。在实际应用中电容式加速度传感器较多地用于低频测量,其通用性不如压电式加速度传感器,且成本也比压电式加速度传感器高得多。


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