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压力传感器使用了哪些技术?
2022.03.02
压力传感器使用了哪些技术?
压力传感器可包含几个类似的应变仪元件
1.应变压力传感器
应变计或箔规技术利用一些材料由于其拉伸或应变的变化而经历的电阻变化。在这里,该技术使用材料在经历不同压力时的电导率变化并计算该差异,然后将其映射到压力变化。
应变仪是在膜上以Z字形图案布置的长的导体。拉伸时,其阻力增加。应变计安装在与应变相同的方向上,通常用四肢形成一个完整的“惠斯通电桥”。压力传感器可包含几个类似的应变仪元件。
2.光纤压力传感器
该技术利用光纤的特性来影响在光纤中传播的光,使得它可以用于形成传感器。压力传感器可以通过使用微型光纤干涉仪来检测膜的纳米级位移。还可以施加压力以引起光纤损失以形成基于强度的传感器。
3.机械挠度
该技术利用液体的机械特性来测量其压力。例如,压力对弹簧系统的影响和弹簧压缩的变化可用于测量压力。
4.半导体压阻式
为了测量压力,该技术使用由于压力变化引起的半导体电导率的变化。
5.微机电系统(MEMS)
在这里,该技术将微电子技术与微型机械系统(如阀门和齿轮)结合在一起,所有这些都在使用纳米技术测量压力的单个半导体芯片上。
6.振动元件(例如硅共振)
为了计算压力,振动元件用于测量由于压力变化而在不同材料元件的分子水平上的振动变化。
7.可变电容
由于压力的变化以计算压力,该技术利用由于电容器极板之间的距离的变化引起的电容变化。
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